洁净室(区)内设置真空泵时,应符合下列规定:1.电子工厂装修对于传输、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵,应采用不燃泵油,并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。2.对传输含有可燃气体的真空泵,可燃气体浓度超过下限的20%时,应设尾气处理装置,天津车间净化工程,在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分。3.使用油润滑的真空泵应设置除油装置,除油后尾气应排入排气系统。
结构材料:1.地坪:可采用2mm/3mm环氧树脂或是pvc地坪,电子厂房选用防静电地坪。2.送风口用不锈钢框架,美观清洁,天津车间净化工程施工,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。3.工厂装修净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,天津车间净化工程,其特点为美观、刚性强。4.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型pf发泡塑胶板。湿度45-65%;---车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。噪声≤65db(a);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300lx。
电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65db(a);电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5pa;电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的值:补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。---供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
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