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废气工程：由于半导体工艺对操作室清洁度要求---，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。

空压气体工程：螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成：空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。

涂料地面。总特点是：具有水磨石优点，耐磨，密封性好，有弹性，施工复杂。材料：在环氧树脂、聚酯树脂、聚氨酯树脂中加入颜料，硬化剂而成，水泥砂浆基底的水泥标号不低于425＃。卷材板材地面。总特点是：光滑，天津---车间设计，耐磨，略有弹性，不易起尘，天津---车间设计设计，易清洗，施工简单，易产生静电，受紫外线照射易老化，天津---车间设计价格，因与混凝土膨胀系统不相同，用于大面积易于起壳。耐酸磁板地面，总特点是：耐腐蚀，天津---车间设计效果图，但质脆经不起冲击，施工较复杂，造价高，适用于有耐腐要求的区段，并宜用挡水线围起来。