螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成：空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。由于半导体工艺对操作室清洁度要求---，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。
净化车间(clean room)，亦称为净化车间或清净室。它是污染控制的基础。没有净化车间，污染敏感零件不可能批量生产。在fed-std-2 里面，净化车间被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，天津无尘车间设计，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。净化车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、---等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予---设计之房间。
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