洁净厂房的工艺平面布置: 净室（区）内只布置---的工艺设备，---车间设计效果图，以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。 有空气洁净度要求的洁净室（区）应靠近空气调节机房；空气洁净度要求严格的工序应布置在上风侧；易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。 充分考虑大型设备的安装运维路线，---车间设计公司，预设安装口和检修口。 设置气闸室、传递窗；单独的物料入口。 车间内各项固定技术设施（送风口、照明器、回风口、管线等）的布置应优先考虑净化空调系统的要求。
半导体净化车间设计的设计范围包括：装修方案（围护、地面防水保温处理），---车间设计，暖通方案（空调设备、风管、水管等），特气供应方案（特气柜含保险控制、房间气体监测、ep级管道及供气管路尾气处理），压缩空气方案，废气处理方案（仪器设备pou处理、房间排风废气处理），电气方案（空调设备动力配电等），弱电工程，集成控制智能平台，纯水方案（冷却水、去离子水、超纯水、水管等），废水处理。
洁净厂房的位置选择:选择在---含尘和有害气体浓度较低、、物流较少的区域（远离铁路、码头、飞机场、交通要道等）；如以上条件不可避免，则应位于频率风向上风侧，或者全年小频率风向下风侧。对于有微振控制要求的洁净厂房，应先测定周边振动影响。洁净厂房的新风口与交通干道边沿的距离应大于50m；周围设唤醒消防车道；周边道路选用发尘少的材料。
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